真空環境用ROBOT
SPR-8546
| ロボット形狀Robot Type |
4軸円筒座標形 4axis Cylindrical Coordinate |
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本体質量 Mass |
2450kg |
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| 可搬質量 Payload Capacity (ハンド,ホルダ含む)(Including End Effector and Holder) |
X1-axis 80kg or less X2-axis 120kg or less |
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| 動作範囲 Operation Range | X-axis 2850mm θ-axis 340° Z-axis 590mm |
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| 動作時間 Operation Speed | X-axis 3.0sec. / 2850mm θ-axis 3.0sec. / 180° Z-axis 2.0sec. /590mm (通信時間含まず) |
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| アーム水平精度(ダレ)Drooping | P-P 1.0mm or less(ホルダ取付フランヅから2300mm位置) | ||
| アーム軌跡精度(蛇行)Trajectory | ±5mm or less(ホルダ取付フランヅから2300mm位置) | ||
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繰返し位置精度Repeatability |
XYZ方向: ±1.0mm or less(ホルダ取付フランヅから2300mm位置) |
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クリーン度 Cleanliness |
ISO Class 4 | ||
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耐真空度Vacuum-Resistance |
1.3X10-5 Pa |
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周囲温度Ambient Temperature |
X-axis +20°C~+160°C |
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| 耐振動Vibration-Resistance | 4.9m/sec2 or less (0.5G or less) |
