產品介紹

大氣環境用ROBOT

UT-AFX/W4000NM



特 點 Features
伺服驅動器內藏並使用高速電力線通信技術,大幅減少ROBOT本體內配線及外部電纜線數。
高可搬搬送(HAND FOLDER、HAND、搬送工件總重量4kg),可搭載反轉軸。
     可對應帶框晶圓搬送、貼合晶圓搬送、光罩搬送。
工件夾持方式有:真空吸附方式、壓縮空氣的邊緣夾緊方式、白努利方式。
白努利夾爪未來預計可對應TAIKO晶圓背面外周夾取。
Integrate servo-amp and adopt wiring-saving by HD-PLC technology.
High payload handling of Max 4kg including hand and hand folder.
As the grip method of wafer, vacuum chuck,edge clamp and Bernoulli's chuck are available.
Bernoulli's hand is going to chuck part of circumference on TAIKO-wafer backside. 

規 格 Specifications*1 
型號Model UT-AFW4010NM UT-AFW4000NM
分類 Category Long Arm Type High Payload Type          
ROBOT種類 Robot Type 4軸圓柱座標型 : 4axis Cylindrical Coordinate
動作範圍
Operation Range
X,A-axis 770mm 500mm
θ-axis 340°
Z-axis 300mm or 450mm
R-axis - (182°)
最大動作速度
Max. Operation Speed
X,A-axis 130°/sec
θ-axis 200°/sec
Z-axis 250mm/sec.
R-axis - (180°/sec.)
動作時間
Cycle Time
X,A-axis 1.4sec/770mm 1.4sec/500mm
θ-axis 2.2sec/340°
Z-axis 1.7sec/300mm or 2.3sec/450mm
R-axis - (1.7sec/180°)
位置重複精度 Repeatability XYZ±0.1mm XYZ±0.1mm,R:±0.1°
可搬重量 Payload  1kg/2N・m(*2)  4kg/8N・m(*2) 
潔淨度
Cleanliness
Clamp規格 Edge Clamp E/E type  ISO Class 3(ISO-14644) 
吸附規格 Vacuum E/E type ISO Class 1(ISO-14644) 
必要諸元 Facilities Air - 0.4-0.7MPa, 200L/min
Vacuum -80kPa, 10NL/min -
設置環境 Environment 温度 Temperature 5-40℃
濕度 Humidity 20-70%, No condensation
*1. 若加購選配,搬送性能將與上列標準值有所差異。
*2. HAND-BASE、HAND、晶圓的合計重量。 *1. Transfer performance differs from the standard when options are added. *2. including Hand-Bace, Hand and Wafer