產品介紹

大氣環境用ROBOT

UTW-REH5500


     
特徵    
450WPHの高速搬送で裝置の                                              
     スループット向上に貢獻
 High speed 450 WPH.



仕様 ※1                                                                                                                    
型式 Model

UTW-REH5500

ロボット形状 Robot Type

4 axis Cylindrical Coordinate  

動作範囲
Operation Range

X, A-axis

+500mm/(-126mm)

θ-axis

340°

Z-axis

300mm

最大動作速度
Max. Operation Speed

X, A-axis

1800mm/sec

θ-axis

360°/sec

Z-axis

600mm/sec

分解能
Resolution

X, A-axis

0.0056mm/pulse or less
0.001°/pulse (Arm Operation Angle)

θ-axis

0.001°/pulse

Z-axis

0.001mm/pulse

繰返し位置精度 Repeatability

XYZ方向:各±0.1mm

可搬質量 Payload

0.5kg/arm(ハンド質量を含む Including E/E)

クリーン度 Cleanliness

ISO Class 3 (ISO-14644)

本体質量 Mass

32kg

必要諸源 Facilities

真空 Vacuum

-80kPag or less, 10NL/min

電源 Power 3 Phases 200-230±10% VAC 15A

設置環境 Environment

温度 Temperature

0-40℃

湿度 Humidity

70% or less (No condensation)

※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。