產品介紹

大氣環境用ROBOT

UTC-R800


    
復刻ROBOT / Replacement model

特 點 Features                                                                        
為MECS暢銷ROBOT復刻機型
可與前代機種直接替換
所需電力較前代機種減少約70%
Re-production of legacy MECS UTC-800.
Drop-in replacement on existing robot.
70% lower power consumption compared with legacy model.                                                                                                                                                                                              
                                                              

                                                                                                                                                                        控制器Controller                                                                                                                                                                                                                                       CS-8600
規 格 Specifications*1*2                                                                                     

型式 Model

UTC-R800

ROBOT種類 Robot Type  3-axis Cylindrical Coordinate
動作範圍
Operation Range
X, A-axis 220mm
θ-axis 360°
Z-axis 170mm
最大動作速度
Max. Operation
Speed
X, A-axis 330mm/sec
θ-axis 210°/sec.
Z-axis 70mm/sec
動作時間
Cycle Time
X, A-axis 1.0sec./220mm
θ-axis 2.0sec./360°
Z-axis 2.7sec./170mm
位置重複精度 Repeatability  XYZ direction: ±0.1mm each
可搬重量 Payload  0.2kg/arm(including Hand, Wafer)
潔淨度 Cleanliness ISO Class 3(ISO-14644)
ROBOT本體質量 Mass  17kg
必要諸元 Facilities 真空 Vacuum -80kPaG or less, 10NL/min
設置環境
Environment
溫度 Temperature 0-40℃
濕度 Humidity 20-70%, No condensation

對應控制器 Controller

CS-8600

電源 Power 100-115±10%VAC, 50/60Hz, 5A
外形尺寸 External Dimensions W: 160 x D: 266 x H: 294 mm
介面 Interface RS-232C 1port for host Controller
Parallel I/O by sequencer
安全性能 Safety Performance PLc(category 1)
設置環境
Environment
溫度 Temperature 0-40℃
濕度 Humidity 20-70%, No condensation
示教器外形尺寸 Teach Pendant External Dimensions W: 123 x D: 201 x H: 64 mm
*1. 若加購選配,搬送性能將與上列標準值有所差異。
*2. 有晶圓感測器與定位感測器可供選配。
*1. Transfer performance differs from the standard when options are added.
*2. Wafer sensor and Mapping sensor are available.