TECNISCO
其他
• 通過Cross Edge精微加工和徹底的品質化管理,獲取高信賴度的矽產品
• 提供符合客戶不斷技術創新所需的矽產品Si/AL2O3/AL/藍寶石等的高
精度精微加工。
► 特徵
1. 通過採用超高純度的矽材料（單結晶/多結晶），實現了把塵粒污染抑制
到最小限度的高品質工藝.由於和矽晶片擁有同等特性(熱傳導率, 比熱,熱
膨脹率)，所以產品的損傷少能提高成品率以及產能。
2. 良好的熱傳導性，使產品的金屬膜厚的分佈均一和安定。
3. 良好的耐熱性，耐腐蝕性，在高溫過程中，可提高耐久性。
4. 可進行高精度，複雜形狀的加工，100%對應客戶的需求。
5. 因為是純矽材料，所以沒有因分層而引起的污染，實現高信賴性。
【標準規格】
表面是單鏡面/單面蝕刻，可對應下面的外徑，厚度的變化。
表面是單鏡面/單面蝕刻，可對應下面的外徑，厚度的變化。
| 外徑 | 厚(μm) | ||
| 4英寸 | ①400〜700 | ②500±25 | ③530±25 |
| 5英寸 | ①500〜700 | ②550±25 | ③625±25 |
| 6英寸 | ①500〜700 | ②450±50 | ③625±25 |
| 8英寸 | ①725〜25 | ②725±50 | |
| 12英寸 | ①775±50 | ||
